متطلبات الغرف النظيفة في صناعة أشباه الموصلات هي كما يلي:
1متطلبات عالية للنظافة
إن تصنيع أشباه الموصلات يتطلب بيئة نظيفة صارمة جداً. تنظيف الهواء في الغرف النظيفة يختلف اعتماداً على متطلبات عمليات أشباه الموصلات المختلفة.تتوافق بشكل عام مع معايير الفئة 1 (ساوي أو أقل من 10.1 ميكرون جزيئ لكل قدم مكعب) إلى الفئة 100 (ساوي أو أقل من 100 جزيئ 0.5 ميكرون لكل قدم مكعب).
2تحكم دقيق في درجة الحرارة والرطوبة
مواد أشباه الموصلات حساسة جداً لدرجة الحرارة والرطوبة.مع نطاق الرطوبة النسبية من 40-60٪ وتقلبات لا تتجاوز ± 1 ° C و ± 5٪ RH.
3إمدادات وتوزيع طاقة موثوقة ومستقرة
تتطلب الغرفة النظيفة نظامًا مخصصًا لتزويد الطاقة وتوزيعها لتوفير إمدادات طاقة مستقرة ومتكررة ، مما يضمن التشغيل العادي وغير المتقطع لمعدات العملية.في نفس الوقت، من الضروري أن يكون لها وظائف حماية وتصفية لمنع تدخلات الطاقة.
4تدفق معقول للهواء الخالي من الغبار
يجب أن تكون الغرف النظيفة مجهزة بأنظمة تصفية الهواء ودورة الهواء الخالية من الغبار لضمان توزيع تدفق الهواء بشكل معقول وعدم وجود زوايا ميتة ، بحيث يمكن للهواء النظيف الوصول بالكامل إلى كل زاوية.يجب أيضا أن يتم التحكم بدقة في سرعة تدفق الهواء وضغط الهواء لمنع الهواء الخارجي من التدفق مرة أخرى أو إزعاج.
5تصميم زلزالي كامل
بالنظر إلى متطلبات استقرار عمليات أشباه الموصلات ، تحتاج الغرف النظيفة عادة إلى اعتماد تدابير مقاومة للصدمات للحد من تأثير الاهتزازات الخارجية على العملية.يجب أن تكون الأساس مستقرة بما فيه الكفاية ومجهزة بأجهزة عازلة.
6اختيار المواد خال من الغبار و خال من التلوث
يجب أن تكون المادة السطحية للغرفة النظيفة خالية من الغبار وخالية من التلوث ، ولن تنتج جسيمات. تستخدم عادة الفولاذ المقاوم للصدأ ، لوحات الألومنيوم ، الزجاج المقاوم ، وغيرها من المواد.يجب تركيب ستارة هوائية عند المدخل لمنع دخول الغبار.
